格萊思提供的MANIPULATOR 清潔度實(shí)驗(yàn)設(shè)備對(duì)零部件清潔度檢測(cè)分析流程如下：

1、首先提取組件上顆粒物，提取方法：

（1）沖洗

（2）噴洗

（3）超聲波清洗

（4）壁洗

（5）內(nèi)部沖洗

2、然后采用測(cè)量設(shè)備對(duì)顆粒物進(jìn)行定性定量分析，分析方法:

（1）重力測(cè)量分析

（2）光學(xué)顯微鏡分析

（3）拉曼光譜分析

（4）傅里葉紅外光譜儀分析

（5）化學(xué)元素分析 （掃描電鏡）

3、與光學(xué)顯微鏡分析相比，掃描電子顯微鏡 可以對(duì)顆粒進(jìn)行更深入的分析?？梢源_定顆粒化學(xué)成分。